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昆明币安app最新版厂-烤盘架适用于西餐店设备,蛋糕房设备,休闲速食设备,市场提供和业内使用的石墨盘清洁方法通常采用长时间高温烘烤的方式,而氯气刻蚀烘烤设备是采用氯气或氯化物气体在一定温度条件下对石墨盘进行刻蚀的方式,来满足石墨盘清洁功能。氯气刻蚀烘烤设备是对在MOCVD外延片生长过程中有化学沉积物的石墨盘进行加热和化学反应的专用设备,可以充分清洁石墨盘表面化学沉积物,进而改善MOCVD的外延片的生长成品率。因该烘烤设备需要使用加热器件加热到800度左右,烘烤设备的腔体内部温度比较高,所以需要在保证石墨盘充分吸热的条件下,对其他相关支撑部件对应隔热处理。